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              氮化硅發熱體的穩定性

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              氮化硅發熱體的穩定性

              發布日期:2019-08-28 00:00 來源:http://www.ippo-ippo.com 點擊:

              氮化硅發熱體是一類重要的高溫結構陶瓷,具有熱膨脹系數小、硬度大、彈性模量高以及熱溫度性能、化學穩定性、緣性好等特點,此外它還耐氧化,耐腐蝕等優點使之具有的應用前景。純的氮化硅在室溫時不吸收微波能,近乎微波透明物質,依靠自身的介電損耗來加熱。如何促使樣品均勻地升溫到燒結溫度是燒結的關鍵。氮化硅陶瓷的介電損耗不但很低而且隨溫度變化不大,其導熱性也非良好,在升溫中,樣品開裂打弧或局部過熱等現象不可會出現。

              使用高純α-Si3N4粉為原料,Al2O3、Y2O3為助燒劑,添加量1,混合后以酒精為介質,用Al2O3球球磨24h,干燥分散后,將粉先用30MPa壓力預壓后用200MPa等靜壓,壓成24×12(mm)的樣品。用2.45GHz、6kW微波爐,升溫速率25℃/min;常規燒結采用石墨爐無壓燒結,燒成制度與微波燒結相同,且均在氮氣氣氛中燒成。

              由于γ-Si3N4低溫時在微波中的損耗很小,需要用SiC作為低溫吸收微波的發熱體,當樣品溫度起過臨界溫度1390℃后,就會吸收微波自身發熱。結果顯示微波可以α-Si3N4的α相向β相轉變的速度,密度。比較微波燒結及常規燒結1750℃樣品的掃描電鏡圖,在同樣配方、同樣燒結制度下,微波燒結材料的基質中有較大的長形顆粒,保溫2h后長形顆粒的比例及顆粒度都有了而常規燒結的樣品即使保溫5h也沒有這樣的在微波燒結中1725℃就可形成針狀的β-Si3N4樣品,而常規燒結1800℃也無法獲得這樣多并且針狀的β-Si3N4。

              氮化硅發熱體

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